ကူးထူးနှင့် ဆီမီးကွန်ဒုတ်တာ ထုတ်လုပ်မှုတွင် ရေပျော်စီလိကာ မှုန့်၏ အခန်းကဏ္ဍ

အထူးမှန်များအတွက် အဆင့်မြင့် သန့်စင်သော ကုန်ကြမ်းအဖြစ် ကျစ်ပိုင်းသော ဆီလီကာမှုန့်

ဘာကြောင့် α-ကွာတ်ဇ်မှုန့်ကို ရောစပ်ပေါင်းစည်းထားသော ကွာတ်ဇ်နှင့် UV အလင်းကို ဖြတ်သန်းစေသော အော့(ပ်)တစ်ပစ္စည်းများအတွက် ဦးစားပေးအသုံးပြုကြသနည်း

ဖြစ်ဦးကျောက်နှင့် UV အလင်းကို လွှင့်ပို့သော အော့တစ်များ ပြုလုပ်ရာတွင် အသုံးပြုသည့် အဓိက ပစ္စည်းသည် α-quartz မှုန်ဖြစ်ပြီး ၎င်း၏ ပုံဆိုဒ်ဖွဲ့စည်းမှုသည် စံသတ်မှတ်ချက်အတိုင်း ကောင်းမွန်ခဲ့ပြီး အပူခံနိုင်မှု ထူးချွန်ကောင်းမွန်ကာ ညစ်ညမ်းမှုအဆင့်သည် အလွန်နည်းပါးခဲ့သည်။ ဤပစ္စည်းသည် အပူချိန် ၁၆၀၀ ဒီဂရီစက်လျှင် အထက်တွင်ပါ အခဲအဖြစ် တည်ငြိမ်စွဲမြဲစွာ ရှိနေနိုင်သည်။ ထိုသို့ဖြစ်ခြင်းကြောင့် အပူပေးသည့်အခါ တိုးယွင်းမှု သိသိမှီသာရှိသော ဖြစ်ဦးကျောက်ကို ဖန်တီးနိုင်ခဲ့သည်။ ထိုအပြင် ၎င်းတွင် တစ်သန်းလျှင် ၅၀ အောက်မျှသာ ရှိသော သတ္တုညစ်ညမ်းမှုများ ပါဝင်လေ့ရှိသည်။ သံညစ်ညမ်းမှုသည် အထူးပြုလုပ်ပြဿနာဖြစ်ပြီး ပါဝင်မှု ၅ ppm ခန့်သာ ရှိသည့် အလျော့ငယ်သော ပမာဏကပင် UV အလင်းကို စုပ်ယူသွားကာ Optical Materials Society ၏ မကြာသေးမီလေ့လာမှုအရ ၁၀ မှ ၁၅ ရာခိုင်နှုန်းအထိ အလင်းလွှင့်ပို့မှု စွမ်းအားကို လျော့ကျစေသည်။ α-quartz ၏ အက်တမ်များ၏ ပုံဆိုဒ်ဖွဲ့စည်းမှုသည် ပူပြင်းမှုလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း မှန်ပြောင်းခြင်း သို့မဟုတ် မှောင်မှောက်ခြင်းကို ဖြစ်ပေါ်စေခြင်းမရှိသည့်အတွက် အော့တစ်ကို ရှင်းလင်း၍ တသမျှဖြစ်နေစေသည်။ သို့ရာတွင် အမော်ဖပ်စ် ဆီလီကှားသည် ပူပြင်းမှုဖိအားကို ခံစားရာတွင် အတွင်းပိုင်းတွင် အသေးငယ်သော ဖွဲ့စည်းမှုများကို ဖြစ်ပေါ်စေလေ့ရှိပြီး အလင်းကို မလိုလားအပ်သော ပြန်လှန်မှုကို ဖြစ်ပေါ်စေသည်။

မျက်နှာပြင်အရွယ်အစား ဖြန့်ကျက်မှုနှင့် သေးငယ်သော သတ္တုဓာတ်များ ပါဝင်မှုတို့၏ မီးပြင်းချိန် တစ်သားတည်းဖြစ်မှုအပေါ် သက်ရောက်မှု

အထူးကောင်းမွန်သော ဂျီဝမ်ထုတ်လုပ်မှုတွင် တည်ငြိမ်သော မီးပြင်းချိန် အပြုအမူကို ဖြစ်ပေါ်စေပြီး ၎င်းတွင် ပါဝင်သော ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာနှင့် ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများကို တင်းကျပ်စွာ ထိန်းချုပ်ထားရန် လိုအပ်ပါသည်။ စံနှုန်းအကောင်းဆုံး အထူးသတ်မှတ်ချက်များတွင် ပါဝင်သည်-

• မျက်နှာပြင်အရွယ်အစား ဖြန့်ကျက်မှု တစ်သားတည်းဖြစ်ခြင်း (D90 < 40 μm) - အပူစုပ်ယူမှု တစ်သားတည်းဖြစ်စေရန်
• Spherical ပုံစံ , မီးပြင်းချိန်အတွင်း အချောင်းများ ဖြစ်ပေါ်မှုကို လျှော့ချခြင်း
• Ppm အောက် အယ်လ်ကာလီ သတ္တုဓာတ်ပါဝင်မှု , မီးပြင်းချိန် အတွင်း အတွင်းယက် ပြောင်းလဲမှုများကို ကာကွယ်ခြင်း

ပေါင်းစပ်မှုအလိုက် အမှုန့်အရွယ်အစားများ ၁၅% ထက်ပိုများပါက ၎င်းသည် နောက်ဆုံးထွက်ကုန်တွင် မြင်သာသော အကြောင်းအကြားများနှင့် ဓာတ်ငွေ့များ ပိတ်မိခြင်းဖြစ်စေသည့် မညီညာသော အပူပေးမှုပုံစံများကို ဖြစ်ပေါ်စေသည်။ အလူမီနီယမ်ပမာဏသည် ppm (သန်းလျှင်) ၂၀ ကျော်လွန်သွားပါက မျက်နှာပြင်ပျော့ချောမှု ၁၂% တိုးလာပြီး ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းကို ထိခိုက်စေသည်။ ကယ်လ်စီယမ် ညစ်ညမ်းမှုများမှာ ပို၍ဆိုးဝါးပြီး cristobalite အဆီအနှစ်များ ကြီးထွားလာစေပြီး ဒါကြောင့် ပစ္စည်းဖွဲ့စည်းပုံကို အားနည်းစေသဖြင့် လူတိုင်း မလိုလားပါ။ အဓိကထုတ်လုပ်သူအများစုသည် ဤအသေးစိတ်အချက်အလက်အားလုံးကို စစ်ဆေးရန် laser diffraction စမ်းသပ်မှုများနှင့် ICP-MS ကိရိယာများကို အားကိုးကြသည်။ အလွန်သေးငယ်သော ပြောင်းလဲမှုများက နောက်ပိုင်းတွင် ပြဿနာကြီးများဖြစ်စေနိုင်သော ဆီမီကွန်ဒပ်က်တာ ထုတ်လုပ်မှုနှင့် စျေးကြီးသော အော့ပတစ်ကွန်ပိုးနင့်များ ထုတ်လုပ်ရာတွင် လိုအပ်သော တသမတ်တည်းရလဒ်များကို ထိန်းသိမ်းရန်အတွက် ဤအရည်အသွေးထိန်းချုပ်မှုများသည် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။

ဆီမီကွန်ဒပ်က်တာ ထုတ်လုပ်မှုတွင် ကရစ်စတယ်ပုံစံ ဆီလီကာ အမှုန့် - အပူဓာတုဖြစ်စဉ်အတွက် အစာကျွေးပစ္စည်းမှ အထူးစွမ်းဆောင်ရည်ရှိသော မျက်နှာပြင်များအထိ

ကရစ်စတယ်ပုံစံ ဆီလီကာ အမှုန့်မှ SiO₂ ဒိုင်အီလက်ထရစ်ကောင်းများအဖြစ် ထိန်းချုပ်ထားသော ပြောင်းလဲမှု

ဆီမီးကွန်ဒပ်တွန် ထုတ်လုပ်မှုတွင် သက်ရောက်မှုအပူအောက်ဆီဒ့်လုပ်ငန်းများအတွက် အဓိကအသုံးပြုသည့် ပစ္စည်းသည် ရေပြားပုံဖြစ်သည့် ဆီလီကာမှုန့်ဖြစ်သည်။ အောက်ဆီဂျင်ကြွယ်ဝသော ပတ်ဝန်းကျင်တွင် အပူချိန် ၉၀၀ ဒီဂရီစက်လျှင် အထက်သို့ ရောက်သောအခါ ဤမှုန့်သည် ဆီလီကွန်ဝိဖ်များပေါ်တွင် အလွန်တစ်သေ SiO2 ဒိုင်အိုလက်ထရစ်အလွှာများအဖြစ် ပြောင်းလဲသွားသည်။ ဤလုပ်ငန်းကို ကောင်းမွန်စွာလုပ်ဆောင်ရန်အတွက် မှုန့်သည် အမှုန့်အရွယ်အစားများ တစ်သေဖြစ်ခြင်းနှင့် အလွန်နည်းပါးသော သံလိုက်များ (ppm အောက်) ရှိရမည်။ ညစ်ညမ်းမှုအနည်းငယ်ပင် ဂိတ်အောက်ဆီဒ့်များတွင် လျှပ်စစ်ပြဿနာများကို ဖြစ်ပေါ်စေနိုင်ပြီး အဆုံးတွင် တာန်စီစတာများ၏ ယုံကြည်စိတ်ခံစားမှုကို အချိန်ကြာလာသည့်အခါ ထိခိုက်စေသည်။ ခေတီဇီဝ ထုတ်လုပ်မှုအဆောက်အအုံများသည် အောက်ဆီဒ့်လုပ်ငန်းအခြေအနေများကို အတိအကျထိန်းသိမ်းရန် စံနှုန်းအတိုင်း ဓာတ်ငွေ့စောင့်ကြည့်စနစ်များကို အသုံးပြုသည်။ ဤစနစ်များသည် ၃၀၀ mm ဝိဖ်ကြီးများပေါ်တွင် အထူတိကျမှုကို ပလက်စ် (သို့) မိုင်းနပ်စ် ၂ ရာခိုင်နှုန်းအတွင်း ရရှိစေသည်။ ဤကဲ့သို့သော တိကျသောထိန်းချုပ်မှုသည် ယနေ့ခေတ် လော့ဂစ်ချစ်များနှင့် မှတ်ဉာဏ်မော်ဂျူးများကို အလွန်ကောင်းမွန်စွာ လုပ်ဆောင်စေပြီး ထုတ်လုပ်သူများသည် သူတို့၏ ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းများမှ ကောင်းမွန်သော ရလဒ်များရရှိကြောင်း သေချာစေသည်။

အဆင့်မြင့်လိသိုရိုက်မှတ်များအတွက် CMP စလပ်များနှင့် ဖိုတိုမာစ်က်စပ်စ်ထဲတွင် ပါဝင်မှု

ဓာတုစက်မှု ပလာနာရေးရှင်း (သို့) CMP လို့ လူသိများတဲ့ အမည်က အက်တမ်အဆင့်မှာ မယုံနိုင်အောင် တိုက်ညီတဲ့ မျက်နှာပြင်တွေ ဖန်တီးဖို့ သလင်းရောင် ဆီးလီကေးရဲ့ သေးနုပ်တဲ့ အမှုန်တွေကနေ ပြုလုပ်ထားတဲ့ အချိတ်အဆက်တွေကို အားကိုးပါတယ်။ ဒါက 3D NAND မှတ်ဉာဏ် ချစ် (ပ်) တွေနဲ့ ကျွန်တော်တို့ ကြားနေကျ ငါးနာနိုမီတာအောက် FinFET တည်ဆောက်မှုလို အဆင့်မြင့် semiconductor ကိရိယာတွေကို ထုတ်လုပ်တဲ့အခါ အထူးအရေးကြီးပါတယ်။ ဒီပစ္စည်းက ကောင်းကောင်း အလုပ်လုပ်တယ်၊ အကြောင်းက မွမ်းမံဖို့ ခက်ပေမဲ့ နူးညံ့တဲ့ အလွှာတွေကို မထိခိုက်စေတဲ့ စက်ဝိုင်းပုံစံရှိလို့ပါ။ တစ်ချိန်တည်းမှာ၊ အလားတူ မြင့်မားတဲ့ သန့်ရှင်းမှု ရှိတဲ့ silica powder ကို အခြား အရေးပါတဲ့ အသုံးတစ်ခုမှာ သုံးပါတယ်။ ၎င်းကို ပေါင်းစပ်လိုက်တဲ့အခါ ချီပ်ထုတ်လုပ်မှုထဲက ဓာတ်ပုံမျက်နှာဖုံးတွေအတွက် အခြေခံပစ္စည်း ဖြစ်လာပါတယ်။ ဒီမျက်နှာဖုံးတွေဟာ အပူပေးခြင်းနဲ့ အအေးပေးခြင်း စက်ဝန်းတွေ ထပ်တလဲလဲ လုပ်ပြီးတောင် ၎င်းတို့ရဲ့ ပုံသဏ္ဌာန်ကို ထိန်းသိမ်းရင်း နန်နိုမီတာ ၁၉၃ မှာရှိတဲ့ ခရမ်းလွန် အလင်းရောင် အားလုံးနီးပါးကို ဖြတ်ကျော်ဖို့လိုပါတယ်။ အလင်းရှင်းလင်းမှုနဲ့ တည်ငြိမ်မှုရဲ့ ဒီပေါင်းစပ်မှုက ထုတ်လုပ်သူတွေဟာ အလွန်အမင်း အ ultraviolet ဓာတ်ပုံထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်တွေမှာ အလွန်တိကျတဲ့ အဆင်တွေကို ထိန်းထားနိုင်တယ်လို့ ဆိုလိုတာပါ။ အဲဒီမှာ ဓာတ်ခွဲမှု စက်ဝန်းတိုင်းဟာ သူတို့ဖန်တီးဖို့ ကြိုးစားနေတဲ့ အဏုကြည့် လက္ခဏာတွေကို အပြောင်းအလဲဖြစ်စေဖို့ အန္တရာယ်ရှိပါတယ်။

ပစ္စည်းရွေးချယ်မှုအခြေခံကျင့်ဝတ် - ကရစ်စတယ်ဖွဲ့စည်းမှုရှိသော ဆီလီကာမှုန့်သည် အမွှေးအရံပစ္စည်းများကို ဘယ်နေရာမှာကျော်လွန်နေသည်ကို

ပုံဖော်နှင့် ပုံမဖော်သော ဆီလီကာကြားရွေးချယ်မှုသည် အထူးသဖြင့် အသုံးပြုမှုတစ်ခုအတွက် အရေးပါသော ဂုဏ္ာင်းများကို အခြေခံ၍ ဆုံးဖြတ်ပါသည်။ အပူချိန်မြင့်မားလာသောအခါ ပိုမိုကောင်းမွန်သော ဖွဲ့စည်းတည်ဆောက်ပုံ ခန့်မှန်းနိုင်မှုကို ပေးသည့် ပုံဖော်ဆီလီကာမှုန့်၊ အထူးသဖြင့် အယ်လ်ဖာ ကွာတ်ဇ်ကို ထောက်ပြပါ။ ထို့ကြောင့် ကိရိယာများ၏ စွမ်းဆောင်ရည်ကို အကျိုးသက်ရောက်မှုအတွက် အရေးပါသော အလွှာများ တစ်သမားနှင့် တည်ငြိမ်သော အဆင့်များကို လိုအပ်သော အပူအောက်ဆီဒိုက်နှင့် အထူးသဖြင့် ကော်နှောများ ပြုလုပ်ခြင်းလုပ်ငန်းများတွင် ၎င်းအရေးပါသည်။ ပုံမှန်လက်စ်စ်ဖွဲ့စည်းတည်ဆောက်ပုံသည် အကျိုးတူညီသော အရည်ပျော်ခြင်းအပြုအမူနှင့် အရည်အခြေအနေမှ ကော်အဖြစ်သို့ ပြန်ပြောင်းခြင်းကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်ဟု ယုံကြည်နိုင်ကြောင်း ဆိုလိုပါသည်။ နှိုင်းယှဉ်ပါက ပုံမဖော်ဆီလီကာသည် အပူဒဏ်ကို ပိုမိုကောင်းမွန်စွာ ခံနိုင်သော်လည်း ထိုသို့သော ပုံမှန်ဖြစ်ပြောင်းမှုများ သို့မဟုတ် ညစ်ညမ်းပစ္စည်းများကို တင်းကျပ်စွဲချုပ်ထိန်းချုပ်မှုကို ပေးနိုင်ခြင်းမရှိပါ။ သတ်မှတ်ချက်များသည် သန့်ရှင်းမှု ၅ ပိုင်းသန့်ရှင်းမှုအောက်တွင် သတ္တုများ သို့မဟုတ် ၁၀ မိုက်ခရွန်အောက်တွင် အမှုန်အရွယ်အစားကို တောင်းဆိုပါက ပုံဖော်ဆီလီကာရွေးချယ်မှုများသည် တုံ့ပြန်မှုအတွင်း ပိုမိုနည်းပါးသော ချို့ယွင်းချက်များကို ဖြစ်ပေါ်စေသောကြောင့် ပိုမိုကောင်းမွန်စွာ အလုပ်လုပ်ပါသည်။ နောက်ဆုံးတွင် တစ်ခုသောပစ္စည်းကို အခြားတစ်ခုအပေါ်တွင် ရွေးချယ်ခြင်းသည် တိကျသော လုပ်ငန်းစဉ်အရေးပါမှုနှင့် ပစ္စည်းကို ခံနိုင်ရည်ရှိရမည့် ဖိအားပမာဏကို မျှတစွဲချိန်ဖြစ်ပါသည်။

စက်မှုလုပ်ငန်းဆိုင်ရာနေရာများတွင် ကရစ်စတယ်ဖြစ်နေသော ဆီလီကာဓာတ်မှုန့်အတွက် ဘေးကင်းလုံခြုံမှု၊ ကိုင်တွယ်မှုနှင့် စည်းကမ်းချက်များကို လိုက်နာမှု

OSHA PELs, အင်ဂျင်နီယာထိန်းချုပ်မှုများနှင့် အဆင့်မြင့်ထုတ်လုပ်မှုစက်ရုံများတွင် ဖုန်မှုန့်ကို အချိန်နှင့်တစ်ပြေးညီ စောင့်ကြည့်ခြင်း

ကွဲလို့ရတဲ့ ဆီလီကာမှုန့်ဟာ အဆုတ်ကျန်းမာရေးအတွက် ပြင်းထန်တဲ့ အန္တရာယ်ကို ဖြစ်စေပြီး ဒါကြောင့် စည်းကမ်းသားတွေက ဒီအရာကို အလွန်ဂရုတစိုက် စောင့်ကြည့်လေ့ရှိပါတယ်။ အလုပ်သမားဘဝနှင့် ကျန်းမာရေးအာမခံရေးအေဂျင်စီ (OSHA) က ကွဲလို့ရတဲ့ ဆီလီကာပါဝင်တဲ့ ရှူသွားနိုင်တဲ့ အမှုန့်တွေအတွက် ကုဗမီတာလျှင် မိုက်ခရိုဂရမ် ၅၀ အထိသာ ခွင့်ပြုထားပါတယ်။ ဒါက စက်ရုံတွေမှာ ခိုင်မာတဲ့ ဘေးကင်းလုံခြုံရေး စီမံခန့်ခွဲမှုတွေ ချမှတ်ထားဖို့ လိုအပ်ကြောင်း ဆိုလိုပါတယ်။ အများအားဖြင့် စက်မှုဇုံတွေမှာ အင်ဂျင်နီယာဆိုင်ရာ ဖြေရှင်းနည်းတွေကို အရင်ဆုံး စတင်လေ့ရှိပါတယ်။ လုပ်သားတွေရဲ့ နေရာကနေ ဖုန်တွေကို စုပ်ယူပေးတဲ့ စွမ်းအားမြင့် ဓာတ်လေစနစ်တွေ၊ သို့မဟုတ် လေထုထဲကို ဖုန်မပါစေရန် ကုန်ကြမ်းပစ္စည်းတွေကို စက်မှုလုပ်ငန်း လုပ်ဆောင်စဉ်အတွင်း စိုစွတ်နေအောင် ထားခြင်းတို့ကို စဉ်းစားပါ။ ဖုန်များ အလျင်အမြန်စုပုံတတ်တဲ့ ဆီမီကွန်ဒပ်က်တာ ထုတ်လုပ်မှုစက်ရုံတွေမှာ အမှုန့်ပါဝင်မှုကို အချိန်နှင့်တစ်ပြေးညီ စောင့်ကြည့်နိုင်တဲ့ စက်ကိရိယာတွေကို အသုံးပြုကြပါတယ်။ မိုက်ခရိုဂရမ် ၂၅ ရဲ့ သတိပေးချက်အဆင့်နားကို ရောက်လာပါက ဒီစနစ်တွေက အသံများ ထုတ်ပေးမှာဖြစ်ပါတယ်။ အချို့သော စက်ရုံများတွင် ၎င်းတို့၏နေရာများအတွင်း လေမည်သို့ လှည့်ပတ်သည်ကို ဆန်းစစ်သုံးသပ်ကာ လုပ်ငန်းစဉ်များ အချိန်ကာလအလိုက် ပြောင်းလဲလာသည်နှင့်အမျှ ကာကွယ်မှုများကို ချိန်ညှိပေးကြပါသေးတယ်။ ဤသို့ပြုလုပ်ခြင်းဖြင့် ဆီလီကို့စစ်ရောဂါ ဖြစ်ပွားမှုများကို လျှော့ချပေးပြီး ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းများကို အနှောင့်အယှက်မဖြစ်စေဘဲ ဆက်လက်လည်ပတ်နိုင်စေပါတယ်။